Typen WU-20, WU-25, WU-26

Ultra High Purity Transducer, Ex nA nL

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MANOMETER AG

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Anwendungen

  • Gas-Panels für OEM-Werkzeuge
  • Halbleiter-, Flachbildschirm- und Photovoltaikindustrie
  • Spezial- und Bulk-Gasversorgung

    Leistungsmerkmale

    • Messen von Drücken mit hoher Genauigkeit 0,15 % RSS
    • Hervorragende Langzeitstabilität
    • Schirmung und Unterdrückung von Signalrauschen
    • Aktive Temperaturkompensation
    • ATEX Zone 2 Zulassung, FM Klasse I Div. 2 Gruppen A, B, C, D

    Beschreibung

    Zuverlässig
    Die WU-2x-Serie verbindet neueste Transducer-Konzepte mit analogen Ausgangssignalen, um sicherste und genaueste Druckmessungen zu gewährleisten und somit den heutigen Marktanforderungen gerecht zu werden.

    Die Druckmessung gegen echte Vakuumreferenz, sowie elektronische Maßnahmen zur Schirmung gegen Störeinstrahlung und Unterdrückung des Signalrauschens ge währleistet hochgenaue Druckmessung und hervorragende Langzeitstabilität.

    Eine aktive Temperaturkompensation verringert den Einfluss von Temperaturänderungen auf den Transducer und erlaubt auch in Anwendungsfällen mit starken Temperaturschwankungen, z. B. Joule-Thomson Effekt bei Gasexpansion, einen sicheren Betrieb.

    Die Transducer WU-25 (flow through) und WU-26 (surface mount) sind speziell für hohe Verwindungsbelastungen, die beim Einbau auftreten können, ausgelegt. Der spezielle Aufbau des Dünnfilmsensors verhindert Sensorausfälle, die aufgrund von Belastungen des Prozessanschlusses oder der Schweißnähte auftreten können.

    Vielseitig
    Der Transducer WU-2x lässt sich in Innen- und Außenanla gen sowie in nicht entflammbaren und potentiell entflammba ren Bereichen problemlos einbauen. Der hermetisch dichte Aufbau des WU-2x verhindert das Eindringen von Feuchtigkeit.

    Zulassungen für nicht entflammbare und potentiell entflamm bare Bereiche gewährleisten eine hohe Lebensdauer und Produktsicherheit. Geräte für Temperaturklasse T6 erfüllen die hohen Anforderungen für Messstoffe mit niedriger, spontaner Entzündungstemperatur (Phospin (PH3) und Silan (SiH4).

    Kompakt
    Der WU-2x ist dank seiner geringen Baugröße der kompakteste UHP-Transducer am Markt. Hierdurch ist er für den Einbau in bauraumkritischen Anwendungen optimalgeeignet, selbst bestehende Anlagen können problemlos nachgerüstet werden.

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